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作者：吴蒙华;佐姗姗;贾卫平;于昇元;
单位：广东科技学院机电工程学院;大连大学机械工程学院;
摘要：无掩模定域性电沉积技术是一种以增材制造方式进行电化学沉积的先进制造方法。用定域性电沉积方法沉积微镍柱结构，通过实体显微镜和扫描电镜观察微镍柱沉积高度、直径及微观形貌，并根据测量结果计算平均沉积速率，设计双因素实验研究脉冲电压、电解液浓度、添加剂及电极间隙对定域性电沉积微镍柱的影响。结果表明：微镍柱平均直径及平均沉积速率随脉冲电压增大均快速增大，脉冲电压大于4.0V时微镍柱更为致密，但表面弯曲且粗细不均；不同脉冲电压下，改变电解液浓度产生的影响不同，主要影响微镍柱沉积速率及表面形貌；添加剂（PPS-OH）使微镍柱表面形貌变得光滑平整、光亮度增加，微镍柱平均直径及沉积速率随添加剂含量增大而减小；电极间隙主要影响微镍柱沉积形态及沉积速率，电极间隙大于10μm时沉积得到的微镍柱逐渐呈现圆锥状，平均沉积速率减小明显。当脉冲电压4.2V、氨基磺酸镍含量300g/L、添加剂（PPS-OH）含量0.5g/L及电极间隙10μm时，无掩模定域性电沉积得到的微镍柱形状规整、粗细均匀且表面光滑平整。
关键词：定域性;;电化学沉积;;微镍柱;;工艺研究;;添加剂
基金资助：国家自然科学基金资助项目—无掩模定域性电沉积增材制造高深宽比三维金属微结构的关键技术研究（51875071）
