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作者：常皓;王昕妍;李中盼;张文超;
单位：郑州职业技术学院智能制造学院;郑州地铁集团有限公司;郑州晖光科技有限公司;大连工业大学机械工程与自动化学院;
摘要：随着硅片的大尺寸化、薄片化成为未来发展趋势，降本增效势在必行。电火花线切割加工过程不产生切削力，可有效满足大尺寸超薄硅片的切割需求。但单程切割轨迹下只能切割一片硅片，加工效率低。针对上述问题，提出一种电火花多线同步放电方法，并设计电火花多线高效切割辅助装置。对装置进行模态分析，并采用有限体积法对加工过程的流场进行分析，发现工作液无法进入加工区域，设计了磁力万向冲液头，并开展试验验证。结果表明，设计的电火花多线高效切割辅助装置加工过程稳定，在保证切割速度不变的条件下可有效降低硅片表面粗糙度，进而提高加工质量。在表面粗糙度相同情况下，多线切割效率更高。
关键词：硅片;;电火花多线切割;;多线同步放电;;流体分析
基金资助：河南省教育厅高校重点科研项目资助（24A460028）
