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作者：王誉;娄树普;辛博;张茂彩;
单位：包头稀土研究院白云鄂博稀土资源研究与综合利用国家重点实验室;钢铁研究总院功能材料研究所;瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司;内蒙古自治区薄膜与涂层重点实验室;
摘要：利用磁粉纹法结合少量的磁场实测值确定了平面阴极靶内永磁体的位置、分布及尺寸，结合阴极靶的其他主要结构参数，进一步建立了阴极靶的磁场计算模型。利用Ansoft-Maxwell软件模拟了该阴极靶整体、重要截面、重要路径的磁场大小和磁场矢量的分布及其变化规律，利用高斯计实测了靶材表面重要路径不同方向上的磁场分量。通过模拟值与实测值的对比表明：模拟计算出的靶面磁场与实测磁场的误差在5%以内，进一步说明利用磁粉纹法结合磁场模拟的方式可以较为准确和快速地预测未知平面磁控溅射阴极靶的磁场分布。
关键词：磁粉纹法;;Ansoft-Maxwell;;磁场分布;;仿真模拟;;阴极靶
基金资助：内蒙古自治区科技重大专项（2018-810）;; 内蒙古自治区关键技术攻关计划项目（2019-1356）
