来源：期刊VIP网 时间：
作者：李红博;陈涛;段振岩;张益文;
单位：武汉理工大学机电工程学院;
摘要：为了提高无压烧结碳化硅微结构加工质量，开展了普通磨削和超声辅助磨削对比试验，探究了工艺参数对加工质量的影响规律。结果表明，加工过程磨削力、表面粗糙度及棱边圆弧半径均随主轴转速的提高而降低、随进给速度的提升而增大，且进给速度对磨削力的影响远大于主轴转速，但对于表面粗糙度和棱边圆弧半径，两工艺参数对其影响程度类似；超声振动可有效降低磨削力、表面粗糙度和棱边圆弧半径，降幅分别为（9.4～34.6）%、（12.9～28.9）%、（4.8～16.3）%；加工表面微观形貌表明，材料在加工过程中塑性去除行为与脆性去除行为并存，超声辅助磨削更易实现塑性去除，故所得加工质量较好。
关键词：碳化硅;;微结构;;超声辅助磨削;;磨削力;;加工质量
基金资助：装备预先研究领域基金（61409230116）
