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作者：张璐凡;姜薄士;张鹏启;张相锋;
单位：河南工业大学机电工程学院;河南景林环保科技有限公司;
摘要：导轨架作为超高加速度宏微运动平台的关键机构，导轨架的共振会严重影响平台的定位精度。这里通过SolidWorks和ANSYS Workbench联合仿真，对导轨架进行研究分析，首先在SolidWorks中建立模型并使模型参数化，导入到ANSYS Workbench中进行模态分析，获得导轨架的前六阶固有频率和振型，然后利用ANSYS Workbench的DM模块，设计质量最轻和一阶固有频率最大的优化目标，对模型进行直接优化和响应面优化。最后，将得到的优化方案进行对比分析，结果表明，导轨架一阶固有频率增加了4.0%，质量减少了4.55%。通过对导轨架进行优化设计，达到了指定优化目标，研究结果对宏微运动平台超精密定位实现具有重要意义。
关键词：宏微运动平台;;导轨架;;模态分析;;优化设计
基金资助：国家青年科学基金项目：51705132;; 河南省科技厅自然科学项目（222102220088）;; 河南省教育厅自然科学项目（21A460006）
