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作者：张慧婧;胡思思;盖爽;王洪燕;
单位：中国科学院武汉文献情报中心;科技大数据湖北省重点实验室;国家知识产权局专利局;
摘要：集成电路制造装备作为集成电路技术不断迭代升级的基石，对集成电路产业的发展至关重要。以集成电路核心制造装备以及光刻机、刻蚀机、离子注入机细分领域为研究对象，综合运用文献调研、专家咨询和专利分析等方法，从技术发展趋势、地域分布、重要机构、主要技术布局、关键技术领域分布等方面梳理了集成电路核心制造装备技术发展现状。研究发现，美国、日本集成电路核心制造装备技术全球领先；我国相关专利申请数量虽然处于上游水平，但迫切需要在关键技术领域布局上进一步提升自主可控能力。在此基础上，对我国集成电路制造装备领域的发展提出了建议，为我国集成电路核心制造装备领域的关键技术突破、科技创新等提供决策支撑。
关键词：集成电路;;集成电路制造;;核心制造装备;;专利分析;;技术趋势;;技术识别
基金资助：国家知识产权局专利局2023年度专利信息服务能力提升项目（E3KZ251）
